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可編程精密勻膠機(jī)

簡(jiǎn)要描述:可編程精密勻膠機(jī)是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上,滴注各類膠液,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。

  • 產(chǎn)品型號(hào):HC150SE
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-03-01
  • 訪  問  量:1416

詳細(xì)介紹


可編程精密勻膠機(jī)

型號(hào):HC150SE

   

HC150SE可編程精密勻膠機(jī),采用高級(jí)PLC 全自動(dòng)程序控制,轉(zhuǎn)速精度高,穩(wěn)定性好。可用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、生物材料、納米材料等領(lǐng)域高精度薄膜涂層的制備。

特點(diǎn):

l  設(shè)計(jì)緊湊,可輕松放置在手套箱內(nèi)使用。

l  HDPE高分子材料旋涂內(nèi)腔,耐腐蝕;采用分體式結(jié)構(gòu),易清洗和移動(dòng)。

l  4.3英寸彩色觸屏控制,易學(xué)易用,可精確設(shè)置實(shí)驗(yàn)參數(shù),運(yùn)行狀態(tài)實(shí)時(shí)顯示;

l  經(jīng)CNC一體加工成型的HDPE內(nèi)腔,內(nèi)腔壁采用凹面設(shè)計(jì),有效防濺;

l采用高級(jí)PLC程序控制,旋涂速度、旋涂時(shí)間、加速度等工藝參數(shù)可編程,實(shí)現(xiàn)快速旋涂和多步編程旋涂;

l 具有電機(jī)進(jìn)膠保護(hù)功能;管路易疏通結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì);

l  轉(zhuǎn)速、加速度、時(shí)間、真空泵關(guān)/停、自動(dòng)吸片、自動(dòng)釋放均可在觸屏上操作。

l  可設(shè)置用戶密碼保護(hù)功能;

技術(shù)參數(shù):

l  適用晶元尺寸范圍:?10~150mm

l  旋涂速度:100~12000rpm

l  轉(zhuǎn)速分辨率:1rpm

l  旋涂加速度:100-30000rpm/s

l  最大旋涂時(shí)間:3000s

l  旋涂時(shí)間精度:0.1s

l  內(nèi)腔直徑212mm,內(nèi)腔采用*的凹面防濺設(shè)計(jì);

l  具備單步快速旋涂和多步編程旋涂,可編程10組程序,每組程序10步;

l  電源輸入:AC200-230V

可編程精密勻膠機(jī)設(shè)備外形尺寸:長(zhǎng)XX高:310X254X250mm




 

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